Bơm khuếch tán

Bơm khuếch tán là thiết bị dùng để tạo chân không cao ở mức độ trung bình tới cận siêu cao (từ 10−3 - 10−8 Torr) hoạt động dựa trên nguyên lý khuếch tán các phân tử khí nhờ sự hấp phụ của các phân tử dầu bị bay hơi.